普发真空stellneue涡轮泵HiPace 2800 IT für Ionenimplantationsprozesse vor
普发真空涡轮泵HiPace 2800 IT。(比尔德奎尔:菲佛真空)
Die durchdachte Rotorkonstruktion der涡轮泵führt zu einem optimierten Saugvermögen für leichte Gase。Dies gewährleistet eine sehr gute Prozessanpassung für Ionenimplantationsprozesse, bei denen insbesondere Wasserstoff entsteht。Mit einem Saugvermögen von 2.600 l/s für Wasserstoff ist die neue HiPace 2800 IT die beste涡轮泵ihrer Klasse。
Das智能温度管理系统verhindert prozess冷凝和-ablagerungen内部泵系统。Es ermöglicht die individuelle Einstellung der temperature, um den Prozess optimal zu unterstützen。Die spezielle Beschichtung des Rotors gewährleistet Die Beständigkeit gegenüber allen Materialien für Ionenimplantationsprozesse。Basierend auf einem sogenannten Hybridlager, einer Kombination aus Keramikkugellagern auf der Vorvakuumseite和永久磁体Radiallagern auf der Hochvakuumseite, zeichnen siich diese hipas - turbopumpen durch eine besonders robuste Lagerausführung aus。Zusammen mit der speziellen Rotorbeschichtung bildet dies die Grundlage für die lange Prozesslebensdauer und Zuverlässigkeit der Pumpen。
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