Pfeiffer Vacuum presenta una nueva turbobomba para aplicaciones de implantación de iones HiPace 2800 IT
Turbobombas de vacío Pfeiffer HiPace 2800 IT. (Fuente de la imagen: Pfeiffer Vacuum)
El sofisticado diseño del rotor de la turbobomba da como resultado una velocidad de bombeo optimizada para gases ligeros. Esto asegura una muy buena adaptación del proceso para los procesos de implantación de iones, donde el hidrógeno es el gas que más se acumula. Con una velocidad de bombeo de hidrógeno de 2.600 l / s, la nueva HiPace 2800 IT es la mejor turbobomba de su clase.
El sistema inteligente de gestión de la temperatura evita la condensación y la deposición del proceso dentro del sistema de bombeo. Permite configurar la temperatura individualmente para apoyar idealmente el proceso. El revestimiento especial del rotor garantiza la robustez frente a todos los materiales del proceso de implantación de iones. Al estar basadas en el llamado rodamiento híbrido, una combinación de rodamientos de bolas de cerámica en el lado de vacío frontal y rodamientos radiales magnéticos permanentes en el lado de alto vacío, estas turbobombas HiPace tienen un diseño de rodamiento particularmente robusto. Junto con el revestimiento eficiente, esto forma la base para el ciclo de vida prolongado y el tiempo de actividad máximo de las bombas.
Fuente:Pfeiffer Vacuum GmbH
