普费弗真空prasentiert neue Produkte

Neue Trockenläufer A4 Serie

Die ölfreien mehrstufigen Wälzkolbenpumpen der A4 Serie bieten ein Saugvermögen von 100 bis 1.700 m3/h. Diese energieeffizienten und zuverlässigen Pumpen sind ideal für den Einsatz in anspruchsvollen Prozessen der Halbleiter- und Beschichtungsindustrie. Dank korrosionsresistenter Materialien und eines hohen Gasdurchsatzes ist die Pumpenserie beispielsweise optimal für die Anwendung in CVD-Prozessen geeignet.

Neuer Trockenläufer A 200 L

Die neue ölfreie mehrstufige Wälzkolbenpumpe A 200 L bietet trotz ihrer geringen Abmessungen ein hohes Saugvermögen und sehr kurze Abpumpzeiten. Dieser Trockenläufer ist für den Betrieb im Reinraum geeignet und ideal für saubere Anwendungen wie Schleusen- und Transferkammern sowie für alle anderen nicht korrosiven Anwendungen. Des Weiteren zeichnet sich die A 200 L durch einfache Integration in Halbleiterproduktionsanlagen und besonders energiesparendes Arbeiten aus.

Neue magnetgelagerte Turbopumpen ATH 2804 M und ATH 3204 M

Bei den magnetgelagerten Turbopumpen der ATH-M Serie überwacht ein aktives 5-Achsen-Magnetlager die Position des Rotors. Durch diese hochwertige Lagertechnologie wird eine Langzeitstabilität und Zuverlässigkeit gepaart mit einer hohen Laufruhe erzielt. Durch die Prozessausrüstung dieser Hochvakuumpumpen und das sehr gute Saugvermögen sind sie ideal für den Einsatz in der Halbleiterproduktion, insbesondere bei Ätzprozessen, sowie für viele weitere industrielle Anwendungen.

Pfeiffer Vacuum stellt ebenfalls auf der Semicon China in Shanghai vom 18. bis 20. März 2014 aus.