Halbleiterindustrie的主要业务包括:生产工艺、生产工艺、生产工艺和生产工艺。zunehmendreichen pneumatisch betätigte Ventile nicht mehr aus, um die Regelanforderungen f。Aus diesem grunth GEMÜ das elektromotorisch betätigte Regelventil GEMÜ C53 iComLine entwickelt。
Elektromotorisch betätigtes Membransitzventil GEMÜ C53 iComLine f r hochreine Prozesse。(Bildquelle: GEMÜ Gebr。德国迈勒仪器设备有限公司
Das 2/2-Wege Membransitzventil GEMÜ C53 iComLine wurde f r präzise und anspruchsvolle Regelanwendungen in der Halbleiterfertigung entwickelt。研究方向:科学技术研究方向:科学技术研究方向:科学技术研究方向:科学技术研究方向:科学技术研究方向:科学技术研究方向:科学技术研究方向:科学技术研究方向:konusförmigen科学技术研究方向:科学技术研究方向:beständigem聚四氟乙烯研究方向。Da Regelkegelkontur, Antriebshub and Anschlussgrößen kundenspezifisch angep助理werden können, erfllt GEMÜ C53 iComLine nahezu alle Regel- und Durchflussanforderungen der hochtechnologischen Halbleiterindustrie。Durch die组合des präzisen Schrittmotors mit hochreinen Körperwerkstoffen eignet sich das Ventil insbesonere f光刻机-，CMP-，和Ätzprozesse sowie f r Anwendungen im Analytik-Bereich in jder Halbleiterfertigung。
Das membransitventl GEMÜ C53 iComLine kandabei night nur als einfaches durchgangsentil verbaut werden。eineintegration in einen M-Block GEMÜ PC50 iComLine list ebenfalls möglich um complex fly ßscheme au最小化Raum zu realisien。在fup - cleaner清洁器的温度测量和di - wasserers的温度测量中，研究了该方法的可行性。大足können in den M-Block GEMÜ PC50 iComLine r ckschlagventile和Sensoren integrert werden。
