新型磁力涡轮泵

26.05.2003

Pfeiffer Vacuum, der Erfinder, der Turbopumpe,这是我们的新产品

磁力涡轮泵集成商

entwickelt。

新型磁力涡轮泵

HiMagTM(图片来源:普发真空)

女人是凶兆。Der Name HiMag(TM)有限公司(以下简称“TM”)有限公司的主要技术是:

  • hohes Saugvermögen von 2100 l/s f r N2
  • (hoh Kompressionsverhaltnis

  • und hoher Gasdurchsatz(高)
  • 涡轮泵(Mag)。

麻省理工学院(Mit)在hohes Kompressionsverhältnis f r leichte Gase (1x104 f r H2)和gleichzetig在hoher Argondurchsatz (2500 sccm) erreicht上设计了新的转子设计。

Sicher und zuverlässig

模具模具和坚固的泵阀结构是如何在Sicherheit上运行的Zuverlässigkeit。【中文译文】永久转子 berwachung - bersenorik - bersork - sorsork - sorsork - sorsork - sorsork - sorsork - sorsork - sorsork - sorsork - sorsork。Durch die 5- achactive Magnetlagerung - in - Minimum - reduce - in - Minimum - reduce - in - Minimum - reduce - in - Minimum - reduce - in - Minimum - reduce - in - Minimum - reduce - in - Minimum - reduceDie Magnetlager又名Die Magnetlager又名Die maglager又名Die maglager又名Die maglager又名Die maglager Störfelder又名Die maglager。在magnnetfeldern > 10 mT, die von außen auf die Pumpe einwirken, ist der Betrieb sicher。德国特别行动队在ionenplantern和elektronenstrahlagen发现了一些问题möglich。Durch das geringe Trägheitsmoment des rotor和稳定的Gehäuse wind ein Höchstmaß和Sicherheit erreicht。Die HiMagTM erfllt Die Halbleiterindustrienormen Semi S-2 (Sicherheit), F-47 (Stromausfall)和E-74(机械/电气接口)。

kostengengnstiger Einsatz在allen Vakuumprozessen

在德国,德国是一个伟大的国家。Da die hohe Vorvakuumverträglichkeit ohne Holweck- oder Gaedestufe erreichwind, ist der Einsatz auch in kritischen Prozessen (Partikelbelastung, hothegaslasten,腐蚀性气体)sichergestellt。Die maximale Vorvakuumverträglichkeit von bis zu 3 mbar bei Argon and Stickstoff und 0,5 mbar bei Wasserstoff erlaubt den Einsatz von kleinen, kosteng. nstigen Vorpumpen。

Durch ein patentiertes Prinzip ist ein Fluten ausler Drehzahl in den Stillstand schon in 1,5分钟möglich。Nur turbomolularpumpen von Pfeiffer真空erlauben diese kurzen Zykluszeiten, wodurch in Wartungsfall höchste正常运行时间北京geringsten Kosten erzielt wind。

Integrierte Antriebselektronik

新研制的antriebsystem TM 3000系统可用于真空泵的研制。泵阀控制器(泵阀控制器)是一种新型的泵阀控制器。特雷·卡贝尔(Teure Kabel)陷入了一种分离的状态:Schaltschrankplatz (Schaltschrankplatz)或die Antriebselektronik (Antriebselektronik)。[1] [0] [0] [0] [0]模具泵ist vor Staub和Spritzwasser geschtzt(工业标准IP 54)。

Leistungsstarker电动机

荷兰制造了1200瓦的电机,该电机采用HiMagTM发动机,可用于生产汽车。在今天的比赛中,每分钟的比赛都是100%的比赛。gleichzetigist eine schnelle Drehzahlanpassung和prozesparparameter的最佳估计。

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