CompactTurbo - Neue leistungsstarke真空泵
Die vier Modelle der CompactTurbo™M-Reihe sind für den Einsatz in der Beschichtung, Halbleiterindustrie, Forschung and Entwicklung sowie bei zahlreichen industrieandwendungen die passenden vakumpump。
模具紧凑涡轮冯菲佛真空(图片:菲佛真空)。
Sie zeichnen sich durch ein hohes Saugvermögen von 1000-2000 l/s sowohl für leichte (H2, HE) als auch für schwere Gase (Ar, CF4) aus。Aufgrund der kompakten Bauweise der Pumpen wignig Raum benötigt。Diese Eigenschaften entsprechen den hohen Anforderungen in der Beschichtung, in besondere der halbleiterindustry。Das创新Rotorkonzept verzichtet auf zusätzliche Druckstufen im Bereich des Vorvakuums。die verleiht der CompactTurbo -Reihe höchste Partikelverträglichkeit und verhindert Kondensation im Vorvakuumbereich。Der Einsatz in Ionenimplantern sowie in EUV-， CVD- und PVD-Prozessen ist somit problemlos möglich。
Die CompactTurbo erfüllen Die hohen Anforderungen der Industrie in Bezug auf Staub- und Spritzwasserschutz (IP 54)。Zudem werden den Halbleiterindustrienormen半F-47 (Stromausfall)和E-74 (mechanische/elektrische Schnittstellen) entsprochen。
创新技术和创新技术
Die robust rottorlagerung ist Grundlage für eine hohe“与失败同时”von > 200.000 Stunden。艾因法希Wartungsmöglichkeiten和朗格瓦通圣瓦勒führen德国水泵公司。Durch das umfangreche Zubehör können die Pumpen and die Kunden und Prozessanforderungen, wie zum Beispiel korrosive Prozesse, angep助威。Das可选verfügbare integrgrierte Netzteil sichert eine einfache集成在模具安文东。在分离克利玛蒂斯特schaltschrankplatzwdadurch eingespart。
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